特許
J-GLOBAL ID：200903065071269264
反射防止コーティング組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐伯 憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-188850
公開番号（公開出願番号）：特開平10-204328
出願日： 1997年06月11日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、特に遠紫外用に反射防止組成物(ARC)として使用するのに適する新規の光吸収性架橋型組成物を提供する。【解決手段】 本発明の反射防止組成物は、概ね、架橋剤、及び反射された遠紫外露光照射光を効果的に吸収する新規のARC樹脂バインダーからなる組成物である。
請求項（抜粋）：
架橋剤、及び、キノリニル基、N、O若しくはSの環置換基を持つキノリニル誘導体、フェナントレニル基、アクリジン基、又は、アルキレンアントラセン基を含有してなる樹脂バインダーからなる、上塗りされたフォトレジスト組成物(overcoated photoresist composition)と共に使用するための反射防止組成物。
IPC (7件)：
C09D 5/00
, C09D 7/12
, C09D133/14
, C09D201/02
, G02B 1/11
, G03F 7/11 503
, H01L 21/027
C09D 5/00 M
, C09D 7/12 Z
, C09D133/14
, C09D201/02
, G03F 7/11 503
, G02B 1/10 A
, H01L 21/30 574
審査官引用 (2件)
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ハレーション止め組成物
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-328816
出願人：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
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特開平3-087746
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