特許

J-GLOBAL ID：200903065074321119

温度調整装置

発明者： 岩下 浩二
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-202796
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036097
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】 設備本体の設定温度の変更に要する時間を短縮することができる温度調整装置を提供する。【構成】 設備本体11に対して並列接続された2台の温度調整器12、13は、それぞれ互いに異なる温度に設定された熱交換媒体(例えば水)を保有する。これらの温度調整器のうちのいずれか一方の熱交換媒体が設備本体11内を循環することにより設備本体11の所定部分の温度をそれぞれ対応する温度に保持する。温度調整器12または13のいずれかを使用するかの切替えは、バルブ14〜17の開閉により行う。従来と異なり温度調整器による熱交換媒体の加熱時間および冷却時間はゼロであり、バルブの切替えのみによって設備本体11内部を循環する熱交換媒体の温度を速やかに変更することができるため、設備本体11の温度変更を極めて迅速に行うことができる。

請求項（抜粋）：

温度調整の対象である設備本体に対して並列接続可能に配置され、各々保有する熱交換媒体をそれぞれ異なる温度に維持する複数の温度調整器と、前記設備本体と各温度調整器との間にそれぞれ設けられ、その選択的な開閉によっていずれかの温度調整器が保有する熱交換媒体を前記設備本体に循環させるバルブとを備えたことを特徴とする温度調整装置。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/205

FI (2件)：

H01L 21/302 B ,  H01L 21/205