特許
J-GLOBAL ID：200903065075049501
基板カセット
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-161867
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354625
出願日： 1998年06月10日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 単一の基板カセットで、互いにサイズの異なる複数サイズのウエハを任意に選択して収納することができる基板カセットを提供することである。【解決手段】 カセット本体11にウエハの周縁部近傍を支持する複数の棚を有する柱部14,15を、12インチウエハを支持するように設けてなる基板カセットにおいて、ウエハの周縁部近傍を支持する複数の棚を有する柱部材17,18を、8インチウエハW2を支持するように、カセット本体11に着脱可能に取り付けるようにした。
請求項（抜粋）：
カセット本体に基板の周縁部近傍を支持する複数の棚を有する第1支持部材を、第1サイズの基板を支持するように設けてなる基板カセットにおいて、基板の周縁部近傍を支持する複数の棚を有する第2支持部材を、前記第1サイズよりも小さい第2サイズの基板を支持するように、前記カセット本体に着脱可能に取り付けるようにしたことを特徴とする基板カセット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 V
, B65D 85/38 R
