特許

J-GLOBAL ID：200903065082914706

白金族-Mn合金ターゲット

発明者： 赤井 誠 ,  村田 英夫
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-233732
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059167
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】 膜中の酸素量を低減できる新規な白金族-Mn合金ターゲットを提供する。【解決手段】 Mnよりも安定な酸化物を形成し、かつ非磁性である元素群から一種類以上を、総計で10〜1000ppm添加した白金族-Mn合金ターゲットである。

請求項（抜粋）：

Mnよりも安定な酸化物を形成し、かつ、非磁性である元素群から一種類以上を、総計で10〜1000ppm添加したことを特徴とする白金族-Mn合金ターゲット。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  G11B 5/39 ,  H01F 41/18

FI (3件)：

C23C 14/34 A ,  G11B 5/39 ,  H01F 41/18

Fターム (9件)：

4K029BA22 ,  4K029BC06 ,  4K029BD00 ,  4K029DC04 ,  5D034BA05 ,  5D034DA05 ,  5E049AA10 ,  5E049BA12 ,  5E049GC02