特許

J-GLOBAL ID：200903065098757627

プラズマエッチング終点検出方法およびプラズマエッチング装置

発明者： 長谷部 有弘 ,  三宅 明廣
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-312982
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169741
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 プラズマエッチング終点検出の高精度化。【構成】 プラズマエッチング装置の処理室1内には、一対の平行平板電極となるステージ3(半導体ウエハ2を載置)と電極4が配設されている。ガスボンベ16から処理室1内に処理用ガス20が供給され、真空ポンプ17で排気され、処理室1内は所望の圧力となる。電極4には整合器6を介して高周波電源5が印加される。電極4には高圧プローブ35が接続されてプラズマインピーダンスが検出される。この検出情報は終点検出器12で判定される。プラズマインピーダンスはエッチング途中とエッチング終点時では異なる。そこで、この変化時点を捕らえてエッチング終点と判定する。プラズマ光のチラツキによってエッチング終点が左右されず、高精度な検出が可能となる。整合器の可動時点やプラズマ光29の発光強度を検出(モノクロメータ27)する手段も有している。

請求項（抜粋）：

プラズマエッチングにおけるエッチング終点を検出する方法であって、プラズマインピーダンスをモニタしてプラズマインピーダンスの変化時点をエッチング終点と判定することを特徴とするプラズマエッチング終点検出方法。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

H01L 21/302 E ,  H01L 21/302 C ,  H01L 21/31 C