特許

J-GLOBAL ID：200903065099654201

軟質膜および可撓性バッキング部材を有するケミカルメカニカルポリシング装置用キャリヤヘッド

発明者： チェン, ハン ,  ズニガ, スティーヴン, エム.
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-526332
公開番号（公開出願番号）：特表2001-526968
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：

【要約】ケミカルメカニカルポリシング装置(20)用のキャリヤヘッド(100)は、軟質膜(118)を含んでおり、その下面が基板受取面を設ける。キャリヤヘッド(100)は、軟質膜(118)の上面に接触して基板の真空チャックを高める複数のセル(194)を有する可撓性バッキング部材(106)を含んでいる。

請求項（抜粋）：

ケミカルメカニカルポリシング装置用のキャリヤヘッドであって、 ベースと、 前記ベースに連結され、排気可能なチャンバを画成するとともに基板受取面を設ける軟質膜と、 複数の窪みを有する可撓性バッキング部材であって、前記チャンバが排気されると前記軟質膜がこのバッキング部材に接触するように前記軟質膜に対して配置されているバッキング部材と、を備えるキャリヤヘッド。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/00 B ,  B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 G

Fターム (4件)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17