特許

J-GLOBAL ID：200903065099839120

半導体圧力センサ

発明者： 鈴木 孝直
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-331131
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160219
出願日： 1992年11月17日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】 製造工程制御が容易で、高い歩留まりと信頼性を得ることができる半導体圧力センサを提供することを目的とする。【構成】 平坦面を有する台座ガラス1上に半導体圧力センサチップ2が直接接合される。圧力センサチップ2は、ダイヤフラム21に突起23を有し、周辺厚肉部20にはAlスペーサ膜3が形成されていて、このスペーサ膜3が台座ガラス1に陽極接合されている。

請求項（抜粋）：

平坦面を有する台座ガラスと、この台座ガラスの平坦面上に周辺厚肉部がスペーサ膜を介して陽極接合された、ダイヤフラムに突起を有する半導体圧力センサチップと、を備えたことを特徴とする半導体圧力センサ。