複合酸化物薄膜の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-077852
公開番号（公開出願番号）：特開平9-268059
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】分子レベルでの組成の不均一が生じ、ペロブスカイト結晶の生成が不十分となるという問題があり、薄膜を低温で合成することは困難であった。【解決手段】Mg化合物とW化合物により、アルカリ土類金属化合物の共存下においても安定に存在するMgW複合アルコキシドを合成した後、該MgW複合アルコキシドとアルカリ土類金属化合物を混合して塗布溶液を合成し、該塗布溶液を基板表面に塗布して焼成する方法であり、例えば、カルボン酸塩であるMg化合物と、W化合物との還流操作により、あるいは、アルコキシドであるMg化合物とW化合物によりMgW複合アルコキシドを合成し、この後安定化処理を行い、アルカリ土類金属化合物の共存下においても安定に存在するMgW複合アルコキシドを合成する方法である。

請求項（抜粋）：

アルカリ土類金属、MgおよびWからなる複合ペロブスカイト型結晶相を主として含有する複合酸化物薄膜の製造方法であって、Mg化合物とW化合物によりMgW複合アルコキシドを合成した後、該MgW複合アルコキシドとアルカリ土類金属化合物を混合して塗布溶液を合成し、該塗布溶液を基板表面に塗布して焼成することを特徴とする複合酸化物薄膜の製造方法。

IPC (6件)：

C04B 35/495 , C01B 13/32 , C01G 41/00 , H01B 13/00 , H01G 4/12 400 , H01P 7/10

FI (6件)：

C04B 35/00 J , C01B 13/32 , C01G 41/00 A , H01B 13/00 F , H01G 4/12 400 , H01P 7/10

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