研磨剤組成物及びそれを用いる研磨方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田勝広 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-204478
公開番号（公開出願番号）：特開平7-041754
出願日： 1993年07月28日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：

【要約】【目的】研磨効率が高く、優れた研磨表面を形成することが出来る研磨剤組成物及び該研磨剤組成物を用いる研磨方法を提供すること。【構成】少なくとも研磨剤とその分散媒体とからなり、該分散媒体が電解水を含有することを特徴とする研磨剤組成物、及び該研磨剤組成物を用いることを特徴とする研磨方法。

請求項（抜粋）：

少なくとも研磨剤とその分散媒体とからなり、該分散媒体が電解水を含有することを特徴とする研磨剤組成物。

IPC (3件)：

C09K 3/14 510 , B24B 37/00 , B24C 11/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

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