特許
J-GLOBAL ID：200903065122176100
マイクロ圧電振動子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-184905
公開番号（公開出願番号）：特開平10-032454
出願日： 1996年07月15日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：
【要約】【課題】圧電振動子形成後でも駆動回路領域の微細配線パタ-ン形成を可能とし、且つ所望形状の良好な特性を有する圧電振動子を再現よく得ること。【解決手段】本発明のマイクロ圧電体振動子は、圧電振動子と、この圧電振動子を駆動するための圧電振動子駆動回路を有するマイクロ圧電振動子において、基板の一方の面に上記圧電振動子を配置し、他方の面に上記圧電振動子駆動回路を配置し、更に上記圧電振動子の下部電極を上記孔部の底面に形成し、該孔部の斜面部に配線電極を形成したものである。
請求項（抜粋）：
圧電振動子と、この圧電振動子を駆動するための圧電振動子駆動回路を有するマイクロ圧電振動子において、基板の一方の面に上記圧電振動子を配置し、他方の面に上記圧電振動子駆動回路を配置したことを特徴とするマイクロ圧電振動子。
IPC (4件)：
H03H 9/17
, B06B 1/06
, H01L 41/08
, H01L 41/22
H03H 9/17 Z
, B06B 1/06 Z
, H01L 41/08 D
, H01L 41/22 Z
