特許

J-GLOBAL ID：200903065122983374

ミラー偏向器

発明者： 白玉 公一
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-125471
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320441
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】 小型で大きなミラー偏向角を得ることができ且つミラー偏向の高速駆動を可能としたミラー偏向器を提供すること。【構成】 光ビームを反射偏向するミラー部1と、このミラー部1を一端部で保持すると共に当該ミラー部1に偏向動作を付勢する圧電素子部2と、この圧電素子部2の他端部を固定する固定基板部3とを備えたミラー偏向器において、圧電素子部2を、同一長さで同一形状の複数の圧電素子2A〜2Dにより構成する。また、各々の圧電素子2A〜2Dの伸縮方向に平行な側面の内の二面を互いに異なる他の圧電素子2A〜2Dの側面とループ状に接続し一体化された柱状構造としたこと。

請求項（抜粋）：

光ビームを反射偏向するミラー部と、このミラーを一端部で保持すると共に当該ミラー部に偏向動作を付勢する圧電素子部と、この圧電素子部の他端部を固定する固定基板部とを備えたミラー偏向器において、前記圧電素子部を、同一長さで同一形状の複数の圧電素子により構成すると共に、前記各々の圧電素子の伸縮方向に平行な側面の内の二面を互いに異なる他の圧電素子の側面とループ状に接続し一体化された柱状構造としたことを特徴とするミラー偏向器。