特許
J-GLOBAL ID：200903065123359020
ウエハ洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-316033
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151398
出願日： 1992年10月30日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 パターン面の汚染を防止できるとともに、ウエハ裏面中心部の汚れも容易に取り除くことができ、しかも設置スペースを小さくすることが可能なウエハ洗浄装置を提供する。【構成】 ウエハ5の周縁部を支持して、そのウエハ5を回転させるチャック機構と、チャック機構の駆動により回転させたウエハ5の上面に噴出ノズル19を介して洗浄液を噴き付ける噴出洗浄機構と、回転する洗浄ブラシ25に洗浄液を供給しながらウエハ5の下面にその洗浄ブラシ25を押し当てるスクラブ洗浄機構とを具備したウエハ洗浄装置。
請求項（抜粋）：
ウエハの周縁部を支持して、前記ウエハを回転させるチャック機構と、前記チャック機構の駆動により回転させた前記ウエハの上面に噴出ノズルを介して洗浄液を噴き付ける噴出洗浄機構と、回転する洗浄ブラシに洗浄液を供給しながら前記ウエハの下面に前記洗浄ブラシを押し当てるスクラブ洗浄機構とを具備したことを特徴とするウエハ洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
