特許
J-GLOBAL ID：200903065123810201
固体昇華用の気化器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-014894
公開番号（公開出願番号）：特開平5-214537
出願日： 1992年01月30日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：
【要約】【目的】 固体材料を加熱して昇華するガスの流量の変動を抑制する。【構成】 容器2内に収納された固体材料1を加熱して昇華するガスがキャリアガスと伴い上昇する過程において、冷却され凝固しようとする前記昇華ガスを捕捉するメッシュ構成体5と、昇華ガスを再度加熱するヒータ7を設け、凝固する昇華ガスを抑制することにより流量の変動を抑える。
請求項（抜粋）：
固体材料を加熱し昇華によりガスを生成する固体昇華用の気化器において、前記固体材料を充填するとともにキャリア用ガスを導入するキャリアガス導入口とこのキャリアガスと前記ガスとの混合ガスが導出される混合ガス排出口とを備える容器と、このキャリアガス導入口と混合ガス排出口との間に位置し前記容器内に取付けられるメッシュ状部材をもつ構造体と、前記固体材料を加熱して昇華させるための第1のヒータと、前記構造体を加熱する前記構造体に捕捉されるガスを加熱し再度加熱する第2のヒータとを備えることを特徴とする固体昇華用の気化器。
IPC (2件)：
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