特許
J-GLOBAL ID:200903065127996300
ピンホール検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 信一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-173158
公開番号(公開出願番号):特開平6-018445
出願日: 1992年06月30日
公開日(公表日): 1994年01月25日
要約:
【要約】【目的】 固体撮像素子を受光部に用いたイメージセンサ方式の特長を生かしつつ、光の透過性の高いシートにおける小径のピンホールを高精度に検出可能にしたピンホール検査装置を提供する。【構成】 測定対象となるシート4の一方に光源1を配置し、他方に固体撮像素子からなる受光部6を配置したイメージセンサ方式のピンホール検査装置において、シート4と光源1との間に偏光板3を配置し、シート4と受光部6との間に偏光板5を配置し、これら一対の偏光板3,5の偏光面のずれを20度以下にする。
請求項(抜粋):
測定対象となるシートの一方に光源を配置し、他方に固体撮像素子からなる受光部を配置したイメージセンサ方式のピンホール検査装置において、前記シートと前記光源との間および前記シートと前記受光部との間にそれぞれ偏光板を配置し、かつ該一対の偏光板の偏光面のずれを20度以下にしたことを特徴とするピンホール検査装置。
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開昭50-039591
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特開昭63-163152
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特開平2-107951
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