特許
J-GLOBAL ID：200903065135963445
濃度計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-109909
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300693
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 ミクロ的に濃度を計測するとともにミクロトレースができる高精度な濃度計測装置を、簡単な構成で安価に実現すること。【構成】 He-Neレーザ1からのレーザ光2が一軸メカニカルステージ7上に設置された試料ホルダ8に固定された試料9に入射したときの透過光の光量は、ホトダイオード10で検出しアンプ15およびA/D変換器16を介してCPU20に報告され、また、ステージコントローラ12が一軸メカニカルステージ7を移動させて試料9をレーザ光2の光路から外したときに試料9を介さないレーザ光2の光量は、ホトダイオード10で検出しアンプ13およびA/D変換器14を介してCPU20に報告され、これらCPU20に報告された光量に基づいて試料9の濃度を計測する。
請求項（抜粋）：
濃度を計測すべき画像試料に微細なレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、前記画像試料上のレーザ光照射位置を移動するとともに前記画像試料を前記レーザ光の光路から外すように前記レーザ光照射手段または前記画像試料を移動する移動手段と、前記画像試料上のレーザ光照射位置を測定する位置測定手段と、前記画像試料を透過したレーザ光または前記画像試料で反射したレーザ光の光量を検出する光量検出手段と、該光量検出手段により検出した光量と、前記レーザ光照射手段の光量変動パターンに基づいて定められるタイミングで前記移動手段により前記画像試料をレーザ光の光路から外し前記レーザ光照射手段から照射されるレーザ光を前記光量検出手段に導き入れたときに前記光量検出手段により検出した前記レーザ光照射手段からのレーザ光の光量とに基づいて画像試料の濃度を演算する演算手段とを備え、前記位置測定手段で測定したレーザ光照射位置と前記演算手段で演算した画像試料の濃度とから前記画像試料の濃度分布を求めるようにしたことを特徴とする濃度計測装置。
IPC (3件)：
G01N 21/59
, B41J 2/44
, G01N 21/47
