特許

J-GLOBAL ID：200903065138727750

基板熱処理装置

発明者： 村岡 祐介
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-078718
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243365
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】 炉芯管を移動させずに基板を冷却するときに、炉芯管内への大気成分の侵入を防止する。【構成】 管軸芯方向の一端側に基板Wを保持した基板ボート3を挿入する開口2を有するとともに内部にガスを導入するようにした炉芯管1の周囲に、基板Wを加熱するヒーターユニット6を設け、そのヒーターユニット6よりも開口2側周囲で基板Wを冷却するように構成し、基板ボート3を保持する支柱27と蓋体23とを、挿通孔28を介して相対移動可能に設け、蓋体23によって開口2を閉じた状態で、基板ボート3を、ヒーターユニット6による加熱位置からその下方の冷却位置に変位できるように構成する。

請求項（抜粋）：

管軸芯方向の一端側に基板を保持した基板ボートを挿入する開口を有するとともに内部にガスを導入するようにした炉芯管と、前記炉芯管の周囲に設けて前記基板を加熱する加熱手段と、その加熱手段よりも前記炉芯管の管軸芯方向の前記開口側周囲に設けて前記基板を冷却する冷却手段と、前記基板ボートを保持して前記炉芯管の管軸芯方向に移送する移送手段と、前記開口を閉塞する蓋体とを備えた基板熱処理装置において、前記移送手段を、前記基板ボートを保持する支柱とそれを駆動変位する駆動機構とから構成し、前記蓋体に、前記支柱を挿通して相対移動可能な挿通孔を形成するとともに、前記蓋体を開き位置と閉じ位置とに変位する蓋体移送手段を設け、前記蓋体が閉じ位置にある状態で前記移送手段によって前記基板ボートを加熱手段による加熱位置と冷却手段による冷却位置とにわたって変位可能に構成したことを特徴とする基板熱処理装置。

IPC (8件)：

H01L 21/68 ,  C23C 14/50 ,  C30B 25/08 ,  C30B 25/12 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324