特許
J-GLOBAL ID：200903065140717479
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柿本 恭成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-030301
公開番号（公開出願番号）：特開平8-228015
出願日： 1995年02月20日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：
【要約】【目的】 基板に平行な方向の加速度センサを実現する。【構成】 (001)面方位のn型シリコン基板11を貫通して形成された振動子20は、加速度によって±Y方向と±Z方向に振動する。振動によって振動子20の梁21が撓んでせん断応力が生じる。そのため、梁21に形成されたp型拡散領域のピエゾ抵抗23の抵抗値が変化する。電極24a,24bに電圧V<SB>i</SB>が供給され、電圧V<SB>i </SB>の方向に対して直角の方向に出力電圧V<SB>o </SB>が、電極24c,24dを介して取り出されて抵抗値の変化測定される。ここで、電圧V<SB>i </SB>の方向と電圧V<SB>o </SB>の方向は、基板11に対して<1,0,0>と<0,1,0>の方向になっている。そのため、電圧V<SB>i </SB>と電圧V<SB>o </SB>から、基板11に平行で梁21に垂直のY方向の加速度が、基板11に垂直のZ方向の成分の混入なく検出される。
請求項（抜粋）：
基板の貫通エッチングで形成されたおもり及び該おもりを支える梁を有し該基板面に垂直方向と平行方向に振動する振動子と、前記梁に配置されたp型拡散領域またはn型拡散領域で構成され、前記振動による前記梁の撓みで抵抗値の変化するピエゾ抵抗とを備え、前記ピエゾ抵抗の抵抗値の変化から加速度を検出する加速度センサにおいて、前記ピエゾ抵抗に対して前記梁上の一方向のu軸に電圧を供給しそのu軸方向とは直交する該梁上のv軸方向から出力電圧を取り出し、該供給電圧と該出力電圧によって求まる前記ピエゾ抵抗の抵抗値から前記梁におけるせん断応力を測定して加速度を検出する構造としたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 29/84 A
, G01P 15/12
