特許

J-GLOBAL ID：200903065147044186

酸化チタン膜、その製造方法、それをもった物品及びそれを備えた光化学電池

発明者： 小林 光明 ,  笠井 紀宏
出願人/特許権者： ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-167729
公開番号（公開出願番号）：特開平11-343118
出願日： 1998年06月01日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】 歩留まりの抑制及び熱の影響の低減を図りながら多孔質の酸化チタン膜を製造すること。【解決手段】 (a)チタンアルコキシドと、(b)2000〜20000の分子量を有する少なくとも1つのポリエーテルと、(c)アルコールアミン類、グリコール類、アミド類及びジケトン類からなる群より選ばれた少なくとも1種の加水分解抑制剤とを含む溶液を、基板上に塗布する工程と、前記基板を450°C以上600°C未満で焼成する工程とを備えるように構成する。

請求項（抜粋）：

(a)チタンアルコキシドと、(b)2000〜20000の分子量を有する少なくとも1つのポリエーテルと、(c)アルコールアミン類、グリコール類、アミド類及びジケトン類からなる群より選ばれた、前記チタンアルコキシドの加水分解を抑制するための少なくとも1種の反応抑制剤とを含む溶液を、基板上に塗布する工程と、前記基板を450°C以上600°C未満の温度で焼成する工程と、を備える酸化チタン膜の製造方法。

IPC (2件)：

C01G 23/047 ,  H01L 31/04

FI (2件)：

C01G 23/047 ,  H01L 31/04 D