特許
J-GLOBAL ID：200903065148306540
塗布装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-345955
公開番号（公開出願番号）：特開平9-150094
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：
【要約】【課題】間欠塗布された塗布膜の膜厚みを始端から終端まで均一にすること。【解決手段】基材搬送路Rに臨む塗布液吐出口14を基材搬送路Rの横断方向に沿つて延設した塗布ダイ13を備え、塗布液吐出口14を形成する対峙した長手壁面の一方14aを片持ちの弾性板19で形成し、弾性板19を押圧して弾性板19の先端19aを開口位置Fから閉口位置Gまで撓ませる押圧具20を設けたこと。
請求項（抜粋）：
基材搬送路に臨む塗布液吐出口を基材搬送路の横断方向に沿つて延設した塗布ダイを備えた塗布装置において、前記塗布液吐出口を形成する対峙した長手壁面の一方を片持ちの弾性板で形成し、該弾性板を押圧して該弾性板の先端を開口位置から閉口位置まで撓ませる押圧具を設けたことを特徴とする塗布装置。
引用特許：
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