特許

J-GLOBAL ID：200903065152929498

ウェハ保持用静電チャックおよびウェハの剥離方法

発明者： 津崎 浩一
出願人/特許権者： 九州日本電気株式会社
代理人 (1件)： 机 昌彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-085674
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282691
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】ウェハ保持用静電チャックおよびウェハの剥離方法において、ウェハ21の裏面の酸化膜の厚さや表面の金属配線層の厚さ、処理条件の出力および圧力と電極の個体差にかかわらずウェハ21を静電ステ-ジ1から離脱させる。【解決手段】ウェハ21と静電ステ-ジ1の残留吸着力を発生させる負電荷をイオナイザ-10により中和させながらウェハ21と静電ステ-ジ1との隙間に冷却用ガスの圧力を加え、隙間を拡げウェハ21を静電ステ-ジ1から離脱させる。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理室に収納される上部電極に対向し配置される下部電極に固定保持されるとともにウェハを載置面をもつ静電ステ-ジと、前記ウェハ載置台の載置面の前記ウェハを突き上げたり下降したりする複数のリフトピンと、前記ウェハと前記載置面との隙間に冷却ガスを供給するガス供給装置と、供給される前記冷却ガスの圧力を測定する圧力計と、前記隙間から前記冷却ガスが漏れる量を検出する漏れ検出装置と、前記ウェハ載置台に埋設される電極に電圧を印加する直流電源と、前記冷却ガスの圧力を調節する圧力調節弁とを備えることを特徴とするウェハ保持用静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/302 101 R

Fターム (19件)：

5F004BA04 ,  5F004BB22 ,  5F004BC03 ,  5F004BD04 ,  5F004CA02 ,  5F004DA22 ,  5F031CA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA33 ,  5F031HA35 ,  5F031HA39 ,  5F031JA01 ,  5F031JA21 ,  5F031JA45 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA01 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05