特許
J-GLOBAL ID：200903065158375214
ポジ型感光性樹脂組成物とそれを用いたポリイミド膜の形成法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331870
公開番号（公開出願番号）：特開平10-171116
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】アルカリ現像可能な高信頼性のポジ型感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】カルボキシル基を有するジアミンを構成単位とすると共に、疎水性基を有するポリアミド酸エステルと、オルトキノンジアジドスルホンアミド化合物および/またはオルトキノンジアジドスルホンアミドスルホンエステル化合物とを含むアルカリ水溶液で現像可能なポジ型感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
一般式〔1〕【化1】(式中、R1は2価の有機基(但し、R1の55〜85モル%はカルボキシル基)、R2は疎水性基を示し、Xは-SO2-、nは6〜570の整数を示す。)で表わされるポリアミド酸エステルと、一般式〔2〕【化2】(式中、R3はオルトキノンジアジドスルホニル基、R4は炭素数2〜30の有機基、R5はアルキル基または水素、mは1〜6の整数を示す。)で表わされるオルトキノンジアジドスルホンアミド化合物および/または一般式〔3〕【化3】(式中、R3はオルトキノンジアジドスルホニル基、R4は炭素数2〜30の有機基、R5はアルキル基または水素、pは1〜5、qは1〜6の整数を示す。)で表わされるオルトキノンジアジドスルホンアミドスルホンエステル化合物を含みアルカリ水溶液で現像可能であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/022 601
, G03F 7/037 501
, G03F 7/30
, G03F 7/40 501
, H01L 21/027
, H01L 21/312
G03F 7/022 601
, G03F 7/037 501
, G03F 7/30
, G03F 7/40 501
, H01L 21/312 B
, H01L 21/30 502 R
