液晶表示装置用アレイ基板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：則近憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-004433
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188394
出願日： 1992年01月14日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【構成】絶縁性基板21上に走査線と信号線をマトリクス状に形成し、この交点にAlを主成分とした金属からなる走査線と一体のゲ-ト電極33を備えたTFTと、表示電極25を配置してなる液晶表示装置用アレイ基板の製造方法に関し、ゲ-ト電極33を酸化性溶液により表面酸化膜32で覆う工程を備える。【効果】Alのヒロックに起因する層間絶縁破壊を生ずることなく走査線抵抗を低抵抗化することができ、アクティブマトリクス型液晶表示装置の大画面化・高精細化に有用である。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上に走査線と信号線をマトリクス状に形成し、この交点にアルミニウムを主成分とした金属からなる前記走査線と一体のゲ-ト電極、ゲート絶縁層、半導体層、前記信号線と一体のソース電極、ドレイン電極からなる薄膜トランジスタ、及び前記ドレイン電極に接続された表示電極を配置してなる液晶表示装置用アレイ基板の製造方法において、前記ゲ-ト電極を酸化性溶液により表面酸化膜で覆う工程を備えることを特徴とする液晶表示装置用アレイ基板の製造方法。

IPC (5件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/133 550 , G02F 1/1343 , H01L 27/12 , H01L 29/784

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-202007
特開昭61-295619
特開昭60-170922

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