オゾン溶解水の製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内山充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211290
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044162
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】超純水中に含まれる微量のオゾン分解性物質を除去し、オゾン溶解水を長距離送給してもオゾン濃度の低下が少なく、溶存オゾンの残存率の高いオゾン溶解水を得ることができるオゾン溶解水の製造装置を提供する。【解決手段】(A)超純水が供給される超純水供給配管、(B)超純水供給配管に連結し、超純水を酸化還元触媒と接触させる触媒反応部、(C)触媒反応部を経た超純水をろ過するろ過装置、(D)ろ過装置から排出される超純水にオゾンを溶解させるオゾン溶解装置を有することを特徴とするオゾン溶解水の製造装置。

請求項（抜粋）：

(A)超純水が供給される超純水供給配管、(B)超純水供給配管に連結し、超純水を酸化還元触媒と接触させる触媒反応部、(C)触媒反応部を経た超純水をろ過するろ過装置、(D)ろ過装置から排出される超純水にオゾンを溶解させるオゾン溶解装置を有することを特徴とするオゾン溶解水の製造装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 647 , B01F 1/00 , C01B 13/10

FI (3件)：

H01L 21/304 647 Z , B01F 1/00 A , C01B 13/10 D

Fターム (3件)：

4G035AA01 , 4G035AE13 , 4G042CE01

引用特許：

出願人引用 (2件)

ガス吸収装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-122044 出願人：椿本興業株式会社, 株式会社セプト
脱気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-313206 出願人：栗田工業株式会社

審査官引用 (2件)

ガス吸収装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-122044 出願人：椿本興業株式会社, 株式会社セプト
脱気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-313206 出願人：栗田工業株式会社

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