特許
J-GLOBAL ID：200903065184975130
接合型アクチュエータおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-128819
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323763
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：
【要約】【課題】 接合型の製造上の利点を生かしながら、積層型に比肩できる変位特性を有する接合型アクチュエータを提供する。【解決手段】 圧電素子と内部電極とが交互に積層され、隣合う圧電素子の積層面同士が両者間の内部電極により接合されている接合型アクチュエータであって、個々の内部電極が、上記接合に寄与する接合部分と、上記接合に寄与しない非接合部分とから成る。圧電素子の所定部位に高融点導電ペーストを焼き付けて内部電極の非接合部分とし、圧電素子の残部位に低融点導電ペーストを塗布し、乾燥した後に積層し、低融点導電ペーストの焼き付けを行って内部電極の接合部分を形成する。または、圧電素子の全面に導電ペーストを塗布・乾燥し、その上から所定部位のみに接合阻害材を塗布・乾燥した後に、積層して導電ペーストの焼き付けを行う。
請求項（抜粋）：
圧電素子と内部電極とが交互に積層され、隣合う圧電素子の積層面同士が両者間の内部電極により接合されている接合型アクチュエータにおいて、個々の内部電極が、上記接合に寄与する接合部分と、上記接合に寄与しない非接合部分とから成ることを特徴とする接合型アクチュエータ。
IPC (3件)：
H01L 41/083
, H01L 41/22
, H02N 2/00
H01L 41/08 Q
, H02N 2/00 B
, H01L 41/22 Z
