特許

J-GLOBAL ID：200903065188571298

火炎堆積方法

発明者： 斉藤 一男
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168656
公開番号（公開出願番号）：特開平6-009235
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月18日
要約：

【要約】【目的】簡単な制御で、基板への堆積物の堆積量の均一化を図ることができる火炎堆積方法を提供する。【構成】円盤1上に基板2を設置し、円盤1を回転させつつ円盤1の上方に存在する火炎反応バーナ5の火炎6中で合成した堆積物を基板2の上に堆積させる。この際、円盤1の回転を定速回転とし、火炎反応バーナ5は円盤1の中心に向かう方向と円盤1の中心から外周に向かう方向とに往復移動させ、且つ火炎反応バーナ5は円盤1の中心から径方向への距離に反比例して円盤1の表面との間の距離を変化させる。

請求項（抜粋）：

円盤上に基板を設置し、該円盤を回転させつつ該円盤の上方に存在する火炎反応バーナの火炎中で合成した堆積物を前記基板の上に堆積させる火炎堆積方法において、前記円盤の回転を定速回転とし、前記火炎反応バーナは前記円盤の中心に向かう方向と前記円盤の中心から外周に向かう方向とに往復移動させ、且つ前記火炎反応バーナは前記円盤の中心から径方向への距離に反比例して前記円盤の表面との間の距離を変化させることを特徴とする火炎堆積方法。