特許
J-GLOBAL ID:200903065196628584

並列ヒューズを備えるオンチップデカップリングコンデンサシステム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 吉武 賢次 (外5名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-535298
公開番号(公開出願番号):特表2003-513478
出願日: 2000年09月28日
公開日(公表日): 2003年04月08日
要約:
【要約】【課題】 万一のコンデンサ誘電体破壊の場合に、自動的に接続が切れる高性能デカップリングコンデンサを提供する。【解決手段】 集積回路用のオンチップデカップリングコンデンサシステム(DC1)は、電源と接地との間に並列な容量性経路と溶融可能経路を含む。容量性経路(PC)は、電界効果トランジスタをベースにしたコンデンサ(C1)およびそのコンデンサと直列に接続された「容量性経路」トランジスタ(QC)を含む。溶融可能経路(PF)は、エレクトロマイグレーション可能ヒューズ(F1)およびそのヒューズと直列に接続された「溶融可能経路」トランジスタ(QF)を含む。容量性経路トランジスタは、ヒューズと溶融可能経路トランジスタとの間の「溶融可能経路」ノード(NF)の電圧で制御され、通常動作時にはオンになっている。溶融可能経路トランジスタは、コンデンサと容量性経路トランジスタとの間の「容量性経路」ノードの電圧で制御され、通常動作時にはオフになっている。通常動作時に、コンデンサは、電圧サージ時の電荷吸込みおよび電圧降下時の電荷供給によって、局部的な電圧調節を可能にする。誘電体降伏のためにコンデンサが万一短絡した場合、直列容量性経路トランジスタが電流制限器として機能する。容量性経路ノードの電圧の上昇によって、溶融可能経路トランジスタがオンして、ヒューズを通して電流を流すようにする。エレクトロマイグレーションによって、ヒューズは切断する。これによって、溶融可能経路ノードの電圧が下がるので、容量性経路トランジスタがオフになる。この時に、両方の経路を流れる電流はなく、デカップリングコンデンサシステムは内蔵する集積回路から機能的に取り除かれる。
請求項(抜粋):
電源および接地面を有する集積回路用のデカップリングコンデンサシステムであって、 前記電源と前記接地面との間に直列に接続されたコンデンサおよび容量性経路トランジスタを含み、かつ前記コンデンサと前記容量性経路トランジスタとの間に容量性経路電圧ノードを画定する容量性経路と、 前記電源と前記接地面との間に直列に接続されたヒューズおよび溶融可能経路トランジスタを含み、かつ前記ヒューズと前記溶融可能経路トランジスタとの間に溶融可能経路電圧ノードを画定する溶融可能経路と、を備え、 前記溶融可能経路トランジスタは、前記容量性経路電圧ノードに結合されたゲートを有し、 前記容量性経路トランジスタは、前記溶融可能経路電圧ノードに結合されたゲートを有するシステム。
IPC (3件):
H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H03K 19/003
FI (2件):
H03K 19/003 E ,  H01L 27/04 H
Fターム (10件):
5F038AV15 ,  5F038BH01 ,  5F038BH03 ,  5F038BH15 ,  5F038BH19 ,  5F038EZ20 ,  5J032AA00 ,  5J032AA05 ,  5J032AA06 ,  5J032AC18

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