特許
J-GLOBAL ID：200903065197897511
静電像形成装置用電荷発生器及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-322461
公開番号（公開出願番号）：特開平9-141923
出願日： 1995年11月17日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：
【要約】【課題】 電極パッドのワイヤーボンデイングの信頼性を向上させた静電像形成装置用電荷発生器及びその製造方法を提供する。【解決手段】 絶縁基板上に形成されたライン電極と、該ライン電極の表面に形成された誘電膜と、該誘電膜の上部に形成され、その中心に電荷生成用の孔部を有するフィンガー電極と、該フィンガー電極表面に、中心に電荷を通過せしめる孔部を有する絶縁膜を介して形成された、中心に電荷流出用の孔部を有するスクリーン電極よりなる電荷発生制御素子を備えた静電像形成装置用電荷発生器において、前記ライン電極2及びフィンガー電極4の端部に設けたライン電極パッド部2a及びフィンガー電極パッド部4aの表面に、Ni,Cu,Sn,Au,Ag,Al 等を主体とする、Al 又はAu ワイヤーとのボンデイング性の良い金属膜12を形成する。
請求項（抜粋）：
絶縁基板上に形成されたライン電極と、該ライン電極の表面に形成された固体誘電膜と、該固体誘電膜の上部に形成された、中心に電荷生成用の孔部を有するフィンガー電極と、該フィンガー電極の表面に、中心に電荷を通過せしめる孔部を有する固体絶縁膜を介して形成された、中心に電荷流出用の孔部を有するスクリーン電極よりなる電荷発生制御素子を備えた静電像形成装置用電荷発生器において、前記ライン電極及びフィンガー電極の端部にパッド部を備え、該パッド部表面にNi ,Cu ,Sn ,Au ,Ag ,Al 等を主体とする、Al 又はAu ワイヤーとのボンディング性の良い金属膜を備えていることを特徴とする静電像形成装置用電荷発生器。
IPC (2件)：
B41J 2/42
, G03G 15/02 101
B41J 3/16 A
, G03G 15/02 101
