特許

J-GLOBAL ID：200903065204170029

インクジェット記録ヘッドの製造方法

発明者： 鈴木 祐治 ,  柄沢 康史 ,  跡部 光朗
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230199
公開番号（公開出願番号）：特開平6-071895
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【目的】 反応性ガスとの接触により表面改質され、耐インク性が向上した感光性樹脂をインク流路に用いることで、寿命、信頼性が向上したインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。【構成】 インクジェット記録ヘッドのノズルプレート1、及び振動板4上に弱アルカリ現像タイプの感光性樹脂層5、6を形成、露光後、弱アルカリ水溶液で現像してインク流路を形成し、感光性樹脂層5、6を活性化した反応性ガスと接触させて表面改質した後、ノズルプレート1上の感光性樹脂層5と、振動板4上の感光性樹脂層6を接着する。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂により形成されるインクジェット記録ヘッドのインク流路、キャビティーの表面を反応性ガスと接触反応させたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。