特許
J-GLOBAL ID:200903065204604800
自動移載装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
斎藤 春弥 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-291775
公開番号(公開出願番号):特開平11-114857
出願日: 1997年10月09日
公開日(公表日): 1999年04月27日
要約:
【要約】【課題】1台の装置で、ウェーハカセット等の移載対象物の変更に適切に対処しうる自動移載装置を提供する。【解決手段】 移載対象物を把持するハンド11a〜11c、前記ハンド11a〜11cを着脱可能に取り付けるアーム32及び前記アーム32を取り付けた自走式の移動台車13を備え、前記移載対象物を所望の位置に自動的に移載するようにした自動移載装置10において、移載対象物に応じた複数の種類のハンド11a〜11cと、前記自動移載装置10の制御機構に前記ハンド11a〜11cと移載対象物との関係を記憶したデータとを備え、前記複数のハンド11a〜11cから次のステーションにある移載対象物に適合したハンド11a〜11cを、前記データに基づき予め自動的に選択し、交換した後、次のステーションに移動するように構成した。この場合、自動移載装置10に取り換え用の複数のハンド11a〜11cを保持するハンドホルダ12をアーム32近傍に取り付けると、ハンドの自動選択やアーム32への交換が円滑に行え、移載作業の作業効率を向上させることができる。
請求項(抜粋):
移載対象物を把持するハンド、前記ハンドを着脱可能に取り付けるアーム及び前記アームを取り付けた自走式の移動台車を備え、前記移載対象物を所望の位置に自動的に移載するようにした自動移載装置において、移載対象物に応じた複数の種類のハンドと、前記自動移載装置の制御機構に前記ハンドと移載対象物との関係を記憶したデータとを備え、前記複数のハンドから次のステーションにある移載対象物に適合したハンドを、前記データに基づき予め自動的に選択し、交換した後、次のステーションに移動するようにしたことを特徴とする自動移載装置。
FI (2件):
B25J 5/00 A
, B25J 5/00 E
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