特許
J-GLOBAL ID：200903065207025127
光結合構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 伸介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-177735
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035948
出願日： 1993年07月19日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 従来の工程のままで基板の結晶軸とV溝の向きの正確な位置合わせを必要とせずに光導波路と光ファイバとの結合を低い損失で可能にする光結合構造の提供。【構成】 光ファイバと接するV字状の面4が細分化された構造を持ち、基板1の結晶軸とV字状の面4の平行度のずれが存在してもV字状の面4の幅の広がりを防止する。この構造により、光導波路と光ファイバの正確な位置合わせが可能になる。
請求項（抜粋）：
異方性エッチングにより結晶基板に形成されたV溝の壁面にファイバを当接し、前記結晶基板に形成された光導波路の光軸と前記光ファイバの光軸とを一致させ、該光導波路と該光ファイバとの光結合をする光結合構造において、前記光ファイバに当接する部分の前記V溝壁面が該光ファイバの軸方向に関し複数の領域に分割されていることを特徴とする光結合構造。
引用特許：
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