特許
J-GLOBAL ID：200903065209372576
半導体装置用電子制御レギュレータ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-105494
公開番号（公開出願番号）：特開平10-303153
出願日： 1997年04月23日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 制御信号応答性のよい流体用電子制御レギュレータを提供する。【解決手段】 電子制御レギュレータ1では、操作圧力制御部17からの操作空気圧力が排気されると、エアーパイロット式レギュレータ主弁15では、ダイアフラム44が元に戻りバルブ50が閉じ、加圧窒素ガスの下流側の流路21への供給を停止する。流路21内に残った加圧された窒素ガスはブリードポート24のオリフィス25から直ちに排出され、圧力降下の指令信号に対する応答性がよくなる。
請求項（抜粋）：
操作空気圧力により流体の圧力を制御するエアーパイロット式レギュレータ主弁と、当該エアーパイロット式レギュレータ主弁に接続され、操作空気圧力を前記エアーパイロット式レギュレータ主弁の操作圧入力部に与える操作圧力制御部と、前記エアーパイロット式レギュレータ主弁の下流側流路に設けられたブリードポートとを備えたことを特徴とする半導体装置用電子制御レギュレータ。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, F16K 24/04
, F16K 31/126
H01L 21/304 321 H
, F16K 24/04 A
, F16K 31/126 Z
