特許

J-GLOBAL ID：200903065211608544

クリーニング装置

発明者： 札内 浩二
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-075813
公開番号（公開出願番号）：特開2000-263005
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：

【要約】【課題】 TCP(テープキャリヤパッケージ)をACF(異方性導電膜)に接続する際の異物による接続不良を防止する。【解決手段】 TCP12にACFに貼り付ける前に、TCP12をクリーニング装置10に通して異物を除去する。クリーニング装置10は、供給リール24と巻取リール25との間にクリーニングテープ27を掛け回す。クリーニングテープ27の粘着面28をクリーニングローラ32でTCP12に圧接する。クリーニングローラ32の動作時に、上下のテープクランパ41,45でTCP12を保持する。クリーニング装置10は、熱圧着する装置に同期して作動する。

請求項（抜粋）：

他の部材に接続される対象物が配置される保持手段と、前記対象物に密着して対象物に付着した異物を除去する粘着部を備えたクリーニング手段とを具備したことを特徴とするクリーニング装置。

IPC (4件)：

B08B 13/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1345 ,  H01L 21/60 311

FI (4件)：

B08B 13/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1345 ,  H01L 21/60 311 R

Fターム (16件)：

2H088FA17 ,  2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA02 ,  2H088HA05 ,  2H088MA20 ,  2H092GA50 ,  2H092MA22 ,  2H092MA35 ,  2H092NA25 ,  2H092NA29 ,  3B116AA02 ,  3B116AB01 ,  3B116BC07 ,  5F044NN11 ,  5F044NN19