特許

J-GLOBAL ID：200903065217410029

ワイヤボンデイング装置

発明者： 大木 豊和 ,  高橋 邦行
出願人/特許権者： 株式会社新川
代理人 (1件)： 田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-187322
公開番号（公開出願番号）：特開平6-005666
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】【目的】安定した振動エネルギーが供給でき、また個々のボンデイング中に周波数及び振幅を可変でき、安定したボンデイングを可能とする。【構成】ボンデイングアーム2に組み込まれキャピラリ5に電歪又は磁歪効果により振動を伝達する圧電素子7と、周波数データ及び振幅を決める振幅データを出力するマイクロコンピュータ40と、出力波形データが記録された記憶素子44と、マイクロコンピュータ40からの周波数データによって周波数を可変して記憶素子44のアドレス切り換え信号を出力するプログラマブル周波数発生器42と、マイクロコンピュータ40の振幅データによって振幅を決めるD/Aコンバータ46と、プログラマブル周波数発生器42のアドレス切り換え信号によって記憶素子44に記録されたアドレスの出力波形データとD/Aコンバータ46からの決められた振幅による出力電圧又は電流を圧電素子に印加するD/Aコンバータ45とから成る。

請求項（抜粋）：

ワイヤが挿通されるキャピラリを一端に固定してなるボンデイングアームを上下動又は揺動可能に設けて成るワイヤボンデイング装置において、前記ボンデイングアームに組み込まれキャピラリに電歪又は磁歪効果により振動を伝達する圧電素子と、周波数データ及び振幅を決める振幅データを出力するマイクロコンピュータと、このマイクロコンピュータからの周波数データ及び振幅データによって出力波形データ及び振幅を決めて出力電圧又は電流を圧電素子に印加する制御回路から成ることを特徴とするワイヤボンデイング装置。