特許

J-GLOBAL ID：200903065220688054

新規な光活性化合物を有するフォトレジスト

発明者： アンソニー・ザンピニ ,  ハロルド・エフ・サンドフォード
出願人/特許権者： シップレーカンパニー エル エル シー
代理人 (1件)： 佐伯 憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-349242
公開番号（公開出願番号）：特開平11-263768
出願日： 1998年11月04日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】一般式1(Zは水素、C1〜8の炭化水素又はハロゲン;Dは水素又はジアゾーオキソ-ナフタレン-スルホニル;nは1〜4の整数;R1、R5及びR6は独立して炭化水素又はハロゲン;R2はR1と同じ又は水素;各R3はR2と同じ、ヒドロキシル又は-OD;各R4はR2と同じか又は他の置換基である、但しR2の1個以上又はR4の1〜2個は水素ではなく、2個以上のDはジアゾ-オキソ-スルホニル基であり、混合物の50モルパーセント以上はnが1である)を有する非対称型感光性化合物。【効果】本化合物は貯蔵安定性のあるフォトレジスト組成物を生成するのに適する。

請求項（抜粋）：

次式で示される化合物:【化1】式中、Zは水素原子、1から8個までの炭素原子を有する炭化水素基、又は、ハロゲンを示し;Dは水素原子又はジアゾ-オキソ-ナフタレン-スルホニル基を示し;nは1ないし4に等しい整数を示し;R1は1個から8個までの炭素原子を有する炭化水素基又はハロゲンを示し;R2、R5及びR6は、R1と同じか又は水素原子を示し;R3は、各々独立してR2と同じか、ヒドロキシル基又は-OD基を示し;R4は、各々独立して、R2と同じか、アルコキシ基、アシル基、チオエーテル基、アルキルスルホン基、アリールスルホン基又はアミド基を示す。;但し、R2の少なくとも1個、又はR4の1個もしくは2個は水素原子ではなく、そして置換基Dの少なくとも2個はジアゾ-オキソ-スルホニル基である。

IPC (4件)：

C07C309/76 ,  C07C309/71 ,  G03C 1/60 ,  G03F 7/023 511

FI (4件)：

C07C309/76 ,  C07C309/71 ,  G03C 1/60 ,  G03F 7/023 511