特許

J-GLOBAL ID：200903065220948404

被加工物に対する超音波研磨方法

発明者： 上久保 佳則
出願人/特許権者： ミカドプロペラ株式会社
代理人 (1件)： 杉本 勝徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-086885
公開番号（公開出願番号）：特開2002-283193
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】従来の研磨技術の問題点を解決し、エネルギー消費量を極端に少なくできて所望の被加工物に対し、効果的に研磨できると共に洗浄も併せて行うことができるようにすることにある。【解決手段】溶液2中で超音波振動子3によって超音波を発生させて高速流を生じさせ、その高速流の中に研磨粒5を投入すると共に被加工物4を入れ、被加工物4に対して研磨及び洗浄を行うようにした。

請求項（抜粋）：

溶液中で超音波振動子によって超音波を発生させて高速流を生じさせ、その高速流の中に研磨粒を投入すると共に被加工物を入れ、被加工物に対して研磨及び洗浄を行うようにしたことを特徴とする被加工物に対する超音波研磨方法。

IPC (2件)：

B24B 1/04 ,  B24C 3/00

FI (2件)：

B24B 1/04 A ,  B24C 3/00 A

Fターム (6件)：

3C049AA07 ,  3C049AA11 ,  3C049AA16 ,  3C049AC04 ,  3C049CA04 ,  3C049CB03