特許
J-GLOBAL ID：200903065222107571

圧電振動片の製造方法および圧電振動片、ならびに圧電振動子

発明者：
田中 雅子

田中 雅子 について

, 
中村 英明

中村 英明 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 村上 友一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-179975
公開番号（公開出願番号）：特開2002-374135
出願日： 2001年06月14日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：
【要約】【課題】 励振部周囲の段差に形成される配線パターンの抵抗値の上昇や、前記配線パターンの断線を防止するとともに、配線パターンの引き回しの設計自由度の向上、ならびに圧電振動片の取り付け時に生じる周波数オフセット量の低減を図り、さらに圧電振動片の主振動が、励振部に生じる機械的振動に重なるのを防止することのできる圧電振動片の製造方法および圧電振動片、ならびに圧電振動子を提供する。【解決手段】 枠体12と、この枠体12の内側に励振部14を形成した逆メサ型の水晶振動片10である。このような水晶振動片10を製造するには、枠体12の原形となる振動片にハーフエッチングを施し、励振部14を形成する。次いで前記励振部14の外側に段差が形成されるようハーフエッチングを複数回行っていけば、枠体12と励振部14との間に階段状の段差22が形成される。
請求項（抜粋）：
圧電材料からなる振動片の内側にエッチングにより凹状の窪みを形成し、前記振動片を枠体と、この枠体の内側に位置する励振部とした後、この励振部に励振電極を設けるとともに、前記エッチングにより形成される前記励振部周囲の段差に、前記励振電極から前記枠体に引き出される配線パターンを形成する圧電振動片の製造方法であって、前記振動片へのエッチングを複数回行い前記段差を階段状に形成した後に、この階段状に形成された前記段差に前記配線パターンを形成し、前記励振電極を前記枠体に引き出したことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
IPC (4件)：
H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 9/19
FI (4件)：
H03H 3/02 B ,  H03H 9/19 D ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 C
Fターム (12件)：
5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108FF07 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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