特許
J-GLOBAL ID：200903065224392664
真空蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-218171
公開番号（公開出願番号）：特開平11-050232
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：
【要約】【課題】有機蒸着源相互間に熱干渉がなく、精密な温度制御を行える真空蒸着装置を提供する。【解決手段】真空蒸着装置2の真空槽8内に蒸着源収納装置3を配置し、複数の有機蒸着源221、222をその蒸着源収納装置3内に収納し、マイクロヒータ251、252に通電して発熱させる。有機蒸着源221、222間は蒸着源収納装置3によって遮蔽されているので、熱輻射による熱の相互干渉がなく、精密な温度制御を行うことができる。蒸着源収納装置3内に冷却水を循環させると、熱伝導による熱の相互干渉もなくなる。
請求項（抜粋）：
真空槽と、有機化合物が配置されるべき有機蒸着源とを有し、前記真空槽内に基板を搬入し、前記有機蒸着源を発熱させ、前記真空槽内に前記有機化合物の蒸気を放出させ、前記基板表面に有機薄膜を形成する真空蒸着装置であって、前記真空槽内には蒸着源収納装置が設けられ、前記有機蒸着源は、前記蒸着源収納装置内に収納されていることを特徴とする真空蒸着装置。
引用特許：
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