特許
J-GLOBAL ID:200903065225614938
窒化ケイ素粉末焼成用るつぼ
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-215003
公開番号(公開出願番号):特開2000-046474
出願日: 1998年07月30日
公開日(公表日): 2000年02月18日
要約:
【要約】【課題】粒子形状が一定した高品質の結晶質窒化ケイ素粉末を大量に製造するのに適した焼成用るつぼを提供する。【解決手段】焼成炉にて非晶質窒化ケイ素粉末及び/又は含窒素シラン化合物を焼成して結晶質窒化ケイ素粉末とするのに用いられるるつぼであって、内部に同芯状に15〜80mmの間隔で格子を設けてなることを特徴とする。
請求項(抜粋):
焼成炉にて非晶質窒化ケイ素粉末及び/又は含窒素シラン化合物を焼成して結晶質窒化ケイ素粉末とするのに用いられるるつぼであって、内部に同芯状に15〜80mmの間隔で格子を設けてなることを特徴とする窒化ケイ素粉末焼成用るつぼ。
IPC (2件):
FI (2件):
F27B 14/10
, C01B 21/068 Z
Fターム (7件):
4K046AA02
, 4K046BA05
, 4K046BA08
, 4K046CA01
, 4K046CB15
, 4K046CC03
, 4K046CD03
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