負イオン源

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木内光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-394778
公開番号（公開出願番号）：特開2002-197987
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】大電流ビームの引き出しを可能にすると共に、安定した動作と高い信頼性を有するイオン源を提供する。【解決手段】放電プラズマを生成する放電容器と、この放電容器の壁面に配設されたフィラメントと、放電容器内に放電プラズマを生成させるためのアーク放電電源と、放電容器の外壁に、その壁面に垂直な方向に着磁され且つ互いに平行に配置され、隣り合う磁極が異なるように配設された複数の磁石列と、放電容器を閉塞するように設けられ、放電容器内の放電プラズマから負イオンを引き出す引き出し電極と、放電容器と引き出し電極の間の領域に、放電プラズマ中の電子を捕捉する磁気フィルターを形成する手段を有する負イオン源において、放電容器を互いに離隔された複数の放電容器によって構成し、且つ、磁気フィルターを複数の放電容器が共有する単一の磁気フィルターにより構成することによって、各放電容器において安定に大電力放電を行い、大面積且つ大電流ビームの引き出しを可能とした。

請求項（抜粋）：

内部に導入された放電ガスを放電させて放電プラズマを生成する放電容器と、前記放電容器の壁面に配設されたフィラメントと、前記放電容器内に放電プラズマを生成させるためのアーク放電電源と、前記放電容器の外壁に、その壁面に垂直な方向に着磁され、且つ互いに平行に配置され、隣り合う磁極が異なるように配設された複数の磁石列と、前記放電容器を閉塞するように設けられ、前記放電容器内の放電プラズマから負イオンを引き出す引き出し電極と、前記放電容器と前記引き出し電極の間の領域に、放電プラズマ中の電子を捕捉する磁気フィルターを形成する手段を有する負イオン源において、前記放電容器が、互いに離隔された複数の放電容器によって構成され、且つ、前記磁気フィルターが、前記複数の放電容器が共有する位置に配置される単一の磁気フィルターにより構成されていることを特徴とする負イオン源。

IPC (6件)：

H01J 27/08 , G21B 1/00 , G21K 1/00 , H01J 37/08 , H05H 3/00 , H05H 5/00

FI (6件)：

H01J 27/08 , G21B 1/00 U , G21K 1/00 A , H01J 37/08 , H05H 3/00 , H05H 5/00

Fターム (10件)：

2G085AA01 , 2G085BA02 , 2G085BC11 , 2G085BC20 , 2G085EA09 , 5C030DD05 , 5C030DD06 , 5C030DD10 , 5C030DE02 , 5C030DG01

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