特許

J-GLOBAL ID：200903065231655441

マイクロ凹レンズの製造方法

発明者： 野田 聡
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-294646
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128502
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 ゾルゲル法によって容易にマイクロ凹レンズを得る。【構成】 粘稠なゾル1を調製、または調製したゾルの重縮合反応をある程度進行させてゾル液の粘度を上げて粘稠なゾル1とする。このゾル1は、凹レンズの特性を決定するための所望の金属成分組成にしたものである。次に、調製したゾル1の表面に、孔2を形成した板3を接触させる。ゾル1が板3の裏面に完全に密着したら、板3をゾル1基準表面から適当な高さまで引き上げる。すると、孔2の開いている部分にはゾル1が密着していないので、その部分のゾル1が自重で下がり、ゾル表面に部分的に凹面4が形成される。この状態のまま放置するか加温することによってゾル1をゲル化させると、ゲル表面は凹面形状になる。孔2の開いた板3をゲル5表面から取り除いた後、乾燥させてドライゲルとし、最後に焼成してガラス質の凹レンズアレイ6とする。

請求項（抜粋）：

ゾル表面に孔開きパターンを形成した板を載せた後、ゾル基準表面から板を相対的に引き上げることにより、ゾルと板とが部分的に接触しているゾルと板との固-液界面よりもゾルと板とが非接触な孔開き部のゾルの気-液界面の高さを低く保ってゾル表面に凹面を形成し、この状態でゲル化させ、その後乾燥、焼結することを特徴とするマイクロ凹レンズの製造方法。