特許
J-GLOBAL ID：200903065231763996
ワークのクリーニング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-193044
公開番号（公開出願番号）：特開平8-055870
出願日： 1994年08月17日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】 ワイヤボンディングに先立ちボンディング位置の汚染物を簡単に取除くことを目的とする。【構成】 還元雰囲気中にてワークを保持する保持手段と、ワークのボンディング位置に熱線を局所的に照射する熱線照射手段とを有する。
請求項（抜粋）：
ワイヤボンディングされるワークをワイヤボンディングに先立ちクリーニングするワークのクリーニング装置であって、還元雰囲気中にてワークを保持する保持手段と、ワークのボンディング位置に熱線を局所的に照射する熱線照射手段とを有することを特徴とするワークのクリーニング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/60 301
, H01L 21/60
