特許
J-GLOBAL ID：200903065234613650
セラミックグリーンシートの加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸岡 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-048568
公開番号（公開出願番号）：特開平6-238644
出願日： 1993年02月15日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：
【要約】【目的】 低コストで生産性に優れ、誰にでも容易に実施することができるセラミックグリーンシートの加工方法の提供。【構成】 まず、 0.2mmφの貫通孔2を複数個形成した案内板1と、表面が平滑な受板3との間に、厚さ25μmのセラミックグリーンシート6が形成されたベースフィルム5を、グリーンシート6と案内板1、およびベースフィルム5と受板3を密着させて挟み込む。次に、案内板1の下方から、案内板1における貫通孔2に向けて、ウォータージェットノズル4によって圧縮水を噴出する。上記のように、貫通孔2に向けて圧縮水を噴出することにより、貫通孔2下に位置したセラミックグリーンシート6は破壊され、破壊されたグリーンシート6は、ベースフィルム5に当たって跳ね返る帰り水と共に除去され、セラミックグリーンシート6に 0.2mmφのスルーホールが形成される。
請求項（抜粋）：
セラミックグリーンシートにおけるスルーホール形成位置と対応する位置に貫通孔が形成された案内板と、表面が平滑な受板との間に、ベースフィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、セラミックグリーンシートと案内板、およびベースフィルムと受板を密着させて挟み込んだ後、該案内板における貫通孔内に圧縮水を噴出し、その水圧によって貫通孔下のセラミックグリーンシートを破壊し、ベースフィルムに当たって跳ね返る帰り水と共に除去することにより、セラミックグリーンシートにスルーホールを形成することを特徴とするセラミックグリーンシートの加工方法。
IPC (3件)：
B28B 11/12
, B26F 3/00
, B28B 1/30 101
