磁気ディスク用ガラス基板の製法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：泉名謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-072762
公開番号（公開出願番号）：特開平8-329454
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【課題】磁気ディスク用ガラス基板のラッピング処理工程で基板表面に付着した砥粒や金属粒子を次工程の研磨工程に持ち込むことを防ぎ、研磨工程での傷の発生率を低減させる。【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板の主表面をラッピング処理した後、そのガラス基板の表面に深さ0.1〜3μmのエッチング処理を施し、その後エッチング処理が施されたガラス基板の主表面を研磨処理する。

請求項（抜粋）：

磁気ディスク用ガラス基板の主表面をラッピング処理した後、そのガラス基板の表面に深さ0.1〜3μmのエッチング処理を施し、その後エッチング処理が施されたガラス基板の主表面を研磨処理することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製法。

IPC (3件)：

G11B 5/84 , C03C 15/00 , C03C 19/00

FI (3件)：

G11B 5/84 A , C03C 15/00 E , C03C 19/00 Z

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平2-071429
特開昭63-160010
特開平2-269552

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