特許

J-GLOBAL ID：200903065241496490

写真計測装置及び写真計測方法

発明者： 大澤 日佐雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-291752
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118483
出願日： 1997年10月09日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 被測定物に投影した多数のスポット光の識別を容易に行え、短時間で高精度の計測を行うことのできる計測装置及び計測方法を提供する。【解決手段】 測定点とする光スポット33の径を極めて小さなものとせず、該スポットを撮影した場合に、受光素子(例えばCCD)11の各セルサイズの数倍から10倍程度となるようにした。これにより、被測定物7上に存在するわずかな凹凸などにより個々の光スポットがそれぞれ異なる散乱を受け、光スポットがそれぞれ個性化されたスポット形状として受光素子で撮影されるため、個々の光スポットを識別することができる。

請求項（抜粋）：

多数の受光素子が配列された撮像部と、この撮像部に被測定物の像を結像させる結像光学系と、を有する電子カメラ、 並びに、光源と、この光源から出射する光を被測定物に散点状に投影する投影光学系と、を有するスポット光投影器、 を備える写真計測装置であって;上記スポット光投影器の投影する各スポットが、上記電子カメラで該スポットを撮影する際に、同カメラの撮像部の複数の受光素子にかかる程度以上の大きさであることを特徴とする写真計測装置。