特許

J-GLOBAL ID：200903065246299374

弾性表面波素子

発明者： 佐藤 勝男 ,  中山 正俊 ,  柴原 正典 ,  成宮 義和 ,  上條 輝文
出願人/特許権者： テイーデイーケイ株式会社
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-280335
公開番号（公開出願番号）：特開平5-095249
出願日： 1991年10月02日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【目的】 弾性表面波素子において、素子表面及び電極の劣化を防止する。【構成】 基板上に、少なくとも、第1高音速膜、圧電膜及び第2高音速膜を順次備え、該圧電膜と第1高音速膜との界面及び/または圧電膜と第2高音速膜との界面に電極を備える弾性表面波素子である。高音速膜にはダイヤモンド状炭素膜、単結晶ダイヤモンド膜を用いる。【効果】 高周波化に適し、中空パッケージが不要な弾性波素子を提供できる。

請求項（抜粋）：

基板上に、少なくとも、第1高音速膜、圧電膜及び第2高音速膜を順次備え、該圧電膜と第1高音速膜との界面及び/または圧電膜と第2高音速膜との界面に電極を備える弾性表面波素子。