特許

J-GLOBAL ID：200903065247079076

液晶表示装置の製造方法

発明者： 北林 宏佳 ,  藤井 治久
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-240357
公開番号（公開出願番号）：特開2000-075256
出願日： 1998年08月26日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 絶縁性基板を高温ステージに接触させる熱処理工程において、基板に静電気の発生及び基板の破損を防止もしくは抑制する液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】 絶縁性基板1を高温ステージ2に接触させる前に、支持手段3により絶縁性基板1を高温ステージ2の上方に支持し、高温ステージ2と絶縁性基板1の間に空間を生じせしめた状態で、高温ステージ2によって形成される加熱雰囲気に、一定時間絶縁性基板1を保持して水分を除去もしくは減少させる。その後、絶縁性基板1を高温ステージ2に接触させて熱処理を行う。絶縁性基板1の水分の量を除去もしくは減少させた状態で熱処理を行うから、接触・剥離連続振動を防止もしくは抑制することが可能だから、静電気の発生及び絶縁性基板1の破損を防止もしくは抑制することができる。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板を高温ステージに接触させる熱処理工程を含む液晶表示装置の製造方法において、絶縁性基板を高温ステージに接触させる前に、支持手段を使用して絶縁性基板を高温ステージの上方に支持し、高温ステージと絶縁性基板の間に空間を生じせしめた状態で、高温ステージにより形成される加熱雰囲気において、絶縁性基板を一定時間保持することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

FI (2件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

Fターム (7件)：

2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA29 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JB03