特許
J-GLOBAL ID：200903065254735574
走査電子顕微鏡における立体像取得方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-254480
公開番号（公開出願番号）：特開平6-103950
出願日： 1992年09月24日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 試料の構造を非破壊で調べることができる走査電子顕微鏡における立体像取得方法を実現する。【構成】 試料2に照射される電子ビームEBの試料内への侵入深さは加速電圧に応じて異なる。コンピュータ8は加速電圧発生器14を制御して電子銃1の加速電圧を順々に変化させる。各加速電圧に基づく多数の画像データは、演算処理回路10において差が求められる。第3のフレームメモリ11には試料2の表面部分から比較的深い部分までの各層の画像データが得られる。この第3のフレームメモリ11の多数枚の画像データを三次元処理回路12に供給し、三次元画像を構築し、その結果を陰極線管13に供給すれば、陰極線管13上には試料2の三次元構造が表示される。
請求項（抜粋）：
電子銃と、電子銃からの電子ビームを試料上に集束するための電子レンズと、電子ビームを試料上で走査するための走査手段と、試料への電子ビームの照射によって得られた反射電子を検出する検出器と、検出器からの信号に基づいて走査像を得るようにした走査電子顕微鏡において、試料へ入射する電子ビームのエネルギーを変化させて異なったエネルギーの電子ビームに基づく複数の走査像を得るステップ、隣り合ったエネルギーに基づく2種の走査像の差分の信号を得るステップ、複数の差分の信号に基づいて試料の立体像を構築するステップとよりなる走査電子顕微鏡における立体像取得方法。
IPC (2件)：
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