特許
J-GLOBAL ID:200903065276310178

密閉型光偏向器

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-117877
公開番号(公開出願番号):特開平5-273490
出願日: 1992年03月27日
公開日(公表日): 1993年10月22日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 密閉型光偏向器の回転多面鏡回転室内と軸受空間とを密閉分離して、回転多面鏡室内を低圧にすることにより、回転多面鏡の風損を低減し、省電力化及び高速回転化を図る。【構成】 ケース4の底部中央に複数個の動圧発生溝e,fを刻設した透磁性の固定軸8が、また内壁周囲にステータヨーク6がそれぞれ配設され、内壁に複数個の空気溜り溝jを備えた中空回転軸3が微小間隙sを保って固定軸8に外嵌され、また中空回転軸3の底部には磁性流体シール部Aが備えられ、かつこのシール部Aの底部のマグネットリングがスラスト下マグネットリングの受け面とされ、更に中空回転軸3の外周には回転多面鏡2とステータヨーク6に対向して回転駆動用マグネット5が配設され、また中空回転軸3を覆って、空気引き出し孔7とレーザ光入出窓16を設けたカバー9がケース4に密着装着されている。
請求項(抜粋):
ケース(4)の底部中央にスラスト下マグネットリング(12)を環装した複数個の動圧発生溝(e),(f)の刻設された透磁性の固定軸(8)が、内壁周囲にステータヨーク(6)がそれぞれ配設され、上記固定軸(8)には、内壁に複数個の空気溜り溝j,j・・・を備えた中空回転軸(3)が微小間隙(s)を保って外嵌され、上記中空回転軸(3)の底部には磁性流体シール部(A)が備えられ、かつこの磁性流体シール部(A)の底部のマグネットリング(13b)が上記スラスト下マグネットリング(12)の受け面となされ、更に上記中空回転軸(3)の外周には上部より回転多面鏡(2)と上記ステータヨーク(6)に対向して回転駆動用マグネット(5)が配設され、上記中空回転軸(3)を覆って、空気引き出し孔(7)とレーザ光入出窓(16)を設けたカバー(9)が上記ケース(4)に密着装着されたことを特徴とする密閉型光偏向器。
IPC (2件):
G02B 26/10 102 ,  F16C 17/02
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭63-121012

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