特許
J-GLOBAL ID：200903065282503603
異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-094266
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288536
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】受光素子を正反射光に影響されずに自由に配置でき、さらに、受光素子への入力のS/Nを劣化させることなく微細な異物の有無を確実に検出することが可能な異物検査装置を提供することにある。【構成】半導体ウエハ7の表面7aにレ-ザ光25を照射し、異物26が存在している場合に発生する散乱光27...を受光素子16に受けて異物26の有無を検出する異物検査装置11において、半導体ウエハ7の表面7aにレ-ザ光25のp偏光をブリュ-スタ角で入射させる。
請求項（抜粋）：
被検査物の表面にレ-ザ光を照射し、異物が存在している場合に発生する散乱光を受光素子に受けて上記異物の有無を検出する異物検査装置において、上記被検査物の表面に上記レ-ザ光のp偏光をブリュ-スタ角で入射させることを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
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