特許
J-GLOBAL ID：200903065283120791
走査型露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-308221
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161617
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 複数の照明光学系および投影光学系を備えた露光装置において、各照明光学系および投影光学系を介して感光基板上に照射される光束の照度が異なる場合でも、感光基板に対して均一な露光量が得られる露光装置を提供する。【構成】 複数の照明光学系L1〜L5、および複数の投影光学系12a〜12eを介して感光基板14上に照射される光束それぞれの強度Pa〜Peを検出する。各強度に基づいて視野絞り9の開口形状を絞り駆動装置18によって変更し、装置の走査方向に関する感光基板上の投影領域13a〜13eの幅を変更する。
請求項（抜粋）：
光源からの光束をマスクのパターン領域の一部分に照射する複数の照明光学系と、所定の方向に沿って複数配置されるとともに、前記マスクを透過した前記光束による前記一部分それぞれの等倍の正立像を感光基板上に投影する複数の投影光学系と、前記複数の照明光学系それぞれの、前記感光基板とほぼ共役な位置に配置され、前記光束の前記感光基板に対する投影領域を制限する絞り手段と、前記投影光学系に対して前記所定の方向とほぼ直交する方向に、前記マスクと前記感光基板とを同期して走査する走査手段と、前記絞り手段の開口部の前記走査する方向に関する幅を変更する絞り制御手段とを備えたことを特徴とする走査型露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03B 27/50
, G03F 7/20 521
